μPhase?系列干涉儀用于測量高精度要求的光學零件，材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等，非接觸式測量可保證在不傷害光學表面的前提下對光學表面及波前進行較精確的評價。
μPhase?系列干涉儀得益于該設備緊湊與模塊化的設計理念，使它們得到靈活、高效的使用。μPhase?系列干涉儀的各個組成部件相對獨立，相互兼容，可靈活組合成有針對性應用的強大干涉計量系統。
 
  產品特點： 

• 模塊化設計，結構緊湊；
• 測量適用性強，保證可以在各種工作與生產環境中進行檢測；
• 可測量反射率0.3%-100%的光學表面，覆蓋范圍廣；
• 數字化測量，避免人為損壞；
• 完美的結構，全面的軟件，為生產及實驗室提供支持；
• 獨一無二的的產品特點：泰曼格林型/菲索型組合或用于校準樣品的第二個相機，為μPhase系列干涉儀的使用提供了便利。

μPhase? SPHERO UP， μPhase? PLANO UP，μPhase? Plano Down

• 用于測量不同的平面和球面光學零件
• 結構緊湊，占用空間下，可靈活的與產線結合   
• 操作直觀而簡單，適合非專業人士操作
• 測量范圍：
  • μPhase? Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm；
  • μPhase? PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm ；
  • μPhase? SPHERO UP：球面，曲率半徑（凸面）2mm ~225mm，直徑最大55mm ；球面，曲率半徑（凹面）-3mm~-570mm